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产品分类
产品简介
| 性能型号 | JXS-DSV-1416 | JXS-DSV-1618 | JXS-DSV-1822 | JXS-DSV-2030 | JXS-DSV-2236 | |
| 镀膜室尺寸 | Ф1400×H1600mm | Ф1600×H1800mm | Ф1800×H2200mm | Ф2000×H3000mm | Ф2200×H3600mm | |
| 用于行业 | 五金行业、装饰装潢行业、家用家电行业等 | |||||
| 用于产品 | 小五金行业等 | |||||
| 镀膜效果 | 钛金、玫瑰金、香槟金、日本金、炫银、七彩、宝石兰、玫瑰红、黑色等 | |||||
| 真空室结构 | 立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统 | |||||
| 真空获得系统 | 扩散泵 | ≥16000（L/s） | ≥26000（L/s） | ≥26000（L/s） | ≥36000（L/s） | ≥42000（L/s） |
| 罗茨泵 | ≥300（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | |
| 机械泵 | ≥140（L/s） | ≥140（L/s） | ≥140（L/s） | ≥210（L/s） | ≥210（L/s） | |
| 维持泵 | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | |
| 备注 | 可根据客户的要求进行配置 | |||||
| 真空测量系统 | 薄膜规(MKS)、冷阴极(MKS)、皮拉尼(MKS) | |||||
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、脉冲电源 | |||||
| 极限真空指标 | 空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa | |||||
| 电弧源 | ≥12台 | ≥14台 | ≥16台 | ≥20台 | ≥24台 | |
| ≥200A | ≥200A | ≥200A | ≥200A | ≥200A | ||
| 偏压电源 | ≥30KW | ≥30KW | ≥40KW | ≥40KW | ≥40KW | |
| 磁控电源 | ≥0 | ≥0 | ≥0 | ≥0 | ≥0 | |
| 工件转动方式 | 多轴行星式公自转、变频调速（可控可调） | |||||
| 工件烘烤温度 | 常温-300℃至450℃-600℃可控可调（PID温控） | |||||
| 工艺气体 | 3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统 | |||||
| 氩气、氮气、氧气、乙炔等 | ||||||
| 冷却方式 | 水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供） | |||||
| 控制方式 | PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、 | |||||
| 供给指标 | 气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、 | |||||
多弧离子镀技术的工作原理主要基于冷阴极真空弧光放电理论。图1为多弧离子镀工作原理示意图，点燃真空电弧后，阴极靶材表面上出现一些不连续、大小和形状多样、明亮的斑点,它们在阴极表面迅速地做不规则的游动,一些斑点熄灭时又有些斑点在其他部位形成，维持电弧的燃烧。阴极斑点的电流密度达104~105A/cm2,并且以1000m/s的速度发射金属蒸气，其中每发射10个电子就可发射1个金属原子,然后这些原子再被电离成能量很高的正离子（如Ti+）,正离子在真空室内运行时与其他离子结合（如与N-形成TiN），沉积在工件表面形成涂层。
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