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产品分类
产品简介
| 性能型号 | JXS-ZSV-1010 | JXS-ZSV-1215 | JXS-ZSV-1416 | JXS-ZSV-1618 | JXS-ZSV-1820 | |
| 镀膜室尺寸 | Ф1000×H1000mm | Ф1200×H1500mm | Ф1400×H1600mm | Ф1600×H1800mm | Ф1800×H2000mm | |
| 用于行业 | 包装材料、钟表行业、3C行业等 | |||||
| 用于产品 | 化妆品、镜子、车灯、小商品等 | |||||
| 镀膜效果 | 红色、蓝色、紫色、绿色、玫瑰色、咖啡色、七彩等 | |||||
| 真空室结构 | 立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统 | |||||
| 真空获得系统 | 扩散泵 | ≥16000（L/s） | ≥26000（L/s） | ≥26000（L/s） | ≥36000（L/s） | ≥42000（L/s） |
| 罗茨泵 | ≥300（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | |
| 机械泵 | ≥140（L/s） | ≥140（L/s） | ≥140（L/s） | ≥210（L/s） | ≥210（L/s） | |
| 维持泵 | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | |
| 备注 | 可根据客户的要求进行配置 | |||||
| 真空测量系统 | 薄膜规(MKS)、冷阴极(MKS)、皮拉尼(MKS) | |||||
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、脉冲电源 | |||||
| 极限真空指标 | 空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa | |||||
| 蒸发电源 | ≥1台 | ≥1台 | ≥1台 | ≥1台 | ≥1台 | |
| ≥25KW | ≥25KW | ≥30KW | ≥35KW | ≥40KW | ||
| 离子轰击 | ≥5KW | ≥5KW | ≥5KW | ≥10KW | ≥10KW | |
| 深冷装置系统 | ≥12P | ≥12P | ≥12P | ≥12P | ≥12P | |
| 工件转动方式 | 多轴行星式公自转、变频调速（可控可调） | |||||
| 冷却方式 | 水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供） | |||||
| 控制方式 | PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、 | |||||
| 供给指标 | 气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、 | |||||
| 报警及保护 | 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。 | |||||
| 整机总功率 | ≤65KW | ≤65KW | ≤65KW | ≤65KW | ≤65KW | |
| 输出频率 | 电压380V±5% ，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置） | |||||
| 设备占地面积 | ≤55m2 | ≤55m2 | ≤55m2 | ≤55m2 | ≤55m2 | |
| 备注 | 可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。 | |||||
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